タングステン酸化物は（W2O3）タングステンと酸素の化合物である。それは（報(bào)告されている2006）140から240の間の溫度で原子層蒸著法による薄膜° Cとw2を（Nを（CH3の）2）6前駆體として[1それは主要な言及されていません]を使って栽培されてとして教科書などいくつかの古い文獻(xiàn)は化合物W2O3にはを參照タングステンの原子量として時(shí)92に、化合物を?qū)g際に呼ばれて183.84の約半分現(xiàn)代許容値、すなわちWO3とした考えられていた.